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공동활용 연구장비

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유기-금속 화학기상증착장비

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Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

  • 모델명 MARVEL260S
  • 제조사 시스넥스
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 유기금속화학증착장비

상세정보

구축일자 2010-03-31
납품업체 시스넥스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 전기전자컴퓨터공학부 A동 F5층 516호
구성및성능 - 2인치 wafer 6장 성장 가능
- GaN을 비롯한 3족 질화물 반도체 성장 가능
- GaN based LED용 성장 장비
- 최대 온도 1160도까지 사용 가능
- 수소를 carrier gas로 사용

LED 성장을 위한 다음 Metal-Organic source 및 doping gas 보유중

- TMGa
- TMIn
- Cp2Mg
- SiH4
- NH3
장비안내 - 3족 질화물 반도체 성장용 MOCVD 장비
- TMGa, TMIn과 같은 유기금속 물질을 고온에서 반응시켜 화합물 반도체 박막을 성장하는 장비
- GaN based LED용 성장 장비

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