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공동활용 연구장비

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전자빔 증착기 시스템

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Electron-beam Evaporator

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 보성베큠
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리분류되지않는반도체장비

상세정보

구축일자 2021-11-03
납품업체 보성베큠
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원　 C동 B1층
구성및성능 - E-Beam 증착기 메인 챔버 및 보조 챔버 (로드락 포함)
- 고진공 챔버(10-7 Torr) 터보 펌프 (1200 L/sec) 및 로터리 펌프 (1300 L/min)
- Mass flow controller, Vacuum gauge, 게이트 밸브, radiation shield
- Sample holder ~ 76x76 mm2, cooling type (섭씨 15도 유지), tilting (motor, ±90도)
- 시스템 전기/전자 제어판
- 시스템 설치 이후에 메인 챔버에 스퍼터링건 추가 장착 가능할 것
장비안내 - 본 위상양자소자 리더연구단에서는 위상학적인 초전도 소자의 제작을 통해 위상절연체 초전도 소자, 이차원전자가스 초전도 소자, 초전도 마이크로파 공진기, 초전도 양자 센서 등의 연구를 수행하고 있다. 이러한 초전도 양자 소자 연구를 수행하는데 있어서 고품질의 초전도 박막 형성이 필수적이다. 금번 구매 신청한 전자빔 증착기 시스템은 고품질의 초전도 박막 전용 증착을 위한 고진공 전자빔 증착기이다.
- 본 장비는 고진공에서 Sample 식각 및 전자빔 증착시에 이들에 대한 열 영향이 Sample에 전혀 미치지 않게 설계 제작됨과 동시에 샘플이 Rotation 과 Tilting 상태로 증착되므로 각 포인트에 요구하는 박막의 두께가 균일도있게 증착되어야 한다.

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