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공동활용 연구장비

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이온 스퍼터 코터

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Ion Sputter Coater

  • 모델명 CCU-010LV
  • 제조사 safematic
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2022-02-17
납품업체 safematic
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 전기전자컴퓨터공학부 A동 F1층 106호
구성및성능 ① Main System
Sputter Head (SP-010)
magnetron type A sputter head for fine grained high resolution EM films
high voltage power supply
automatic target-shutter
implosion guard safety monitoring
target cooling system
• target temperature control
• process head interface (gas and electric)
• tool for target change
1) Dimensions(DxWxH) : 57 x 36 x 35 cm
2) Weight : 26 kg
3) Power Supply : 90 to 260 VAC; 50/60Hz
4) Power Consumption : Max. 6A
5) Power requirement : Max. 500W
6) Noise level : Max. 40dB(A)
7) Sputtering Current :10~100mA
8) Film Thickness Monitoring : 0.1~500nm
9) Coating Time : 0.5~990 sec (반복 코팅 가능)
10) Vacuum Pump : Rotary Pump (Made in Korea)
Option: Oil free dry pump or Turbo Pump
11) Target available : Ag, Pb, Pd, Au/Pd, Ta, Pt, Au, W, Pt, Ir
(Limited Ti, Ge, V, ITO, Cr, Sn, Fe, Nb, Co, Ni,
Cu, Mo depend on Vacuum)
12) Target Size : Ø 54mm
장비안내 Ion Sputter Coater는 전도성이 없는 시료 및 전도성이 약한 시료의 표면에 플라즈마를 생성하여 금속박막을 형성하는 장비로, 전자현미경(SEM) 분석 시 거쳐야 하는 전처리 장비. Target Material 선택(주로 Au, Pt) 후 시료 표면에 원하는 두께로 증착 가능. 비 전도체인 시료도 해당 과정을 통해 시료 표면에 주사된 전자빔으로부터의 보호와 전도성 증가로 인하여 전자현미경 상으로 관찰 가능하다.

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