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공동활용 연구장비

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레이저 스크라이버

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laser scribing system

  • 모델명 Pico-second laser system
  • 제조사 ㈜코썸사이언스
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 가공/리페어/절단장비

상세정보

구축일자 2021-01-27
납품업체 ㈜코썸사이언스
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F4층 401호
구성및성능 ▫ Laser system
- Pico-laser 532 nm (green)
- Power : 12W
▫ Laser Scanner
- 180mm X 180mm
▫ Vision Alignment System
- Scan Mode, 2 Camera & illumination
▫ Manual stage table
- UVW stage
- Vacuum system
▫ Chiller (Water Cooling)
▫ PC & Monitor
- PC & PC Monitor
- Stage Drive & Control Card
▫ Software
- Vision alignment tool
- Measure Function
- Laser spot overlay & Fluence calculation
- visualized laser spot size & spot overlay
장비안내 - 본 장비는 대면적 (180 mm X 180 mm) 태양전지의 모듈화 시 서브셀들을 직렬 연결화시키기 위한 공정 장비이다.
- 레이저로 식각을 하여 하부 전극 분리 (P1 에칭), 하부 전극 노출 (P2 에칭), 상부전극 분리 (P3 에칭)의 세 단계를 거침으로써 서브셀들을 직렬로 연결하며, 정확한 위치조절, 파워조절, 속도조절이 필요하다.

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