Research Hub

대학 자원

대학 인프라와 자원을 공유해 공동 연구와 기술 활용을 지원합니다.

공동활용 연구장비

20210401000000254730.jpg

엑시머 레이저 시스템

상담·문의하기

Excimer Laser System

  • 모델명 COMPex 102F
  • 제조사 Coherent
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비

상세정보

구축일자 2021-03-30
납품업체 Coherent
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F5층 509호
구성및성능 박막 증착을 위해 필요한 레이저 에너지 같은 경우 주로 200 mJ 이상의 에너지와 8W 수준의 power가 필요합니다. 그러한 면에서, 이러한 스펙을 맞추기 위해서는 COMPex 시리즈의 다양한 레이저 중 102F가 적합합니다.

Pulse energy :200~400 mJ
Wave length : 193 nm, 248 nm , 308 nm , 351 nm
Max. Rep. Rate : 20 Hz
Average Power : 4~8 W
Electrical : 200 to 240 V AC, 16 A, 50/60 Hz switchable, 1-phase, 100 to 120 V AC, 25 A, 50/60 Hz switchable, 1-phase
Weight : 275 Kg
Dimension (L x W x H) : 1282 x 375 x 793 mm^3
장비안내 COMPex 레이저는 설치와 작동이 쉬우며 소형 설계를 갖춘 매우 효율적인 광원입니다. 이 레이저는 재료 연구(PLD)등과 같은 응용분야에서 적합한 장비입니다. Excimer laser는 PLD의 laser source로써 높은 에너지를 가진 laser를 이용해 PLD에서 target을 과도한 온도 상승 없이 타격하여 타겟과 동일한 조성을 가지는 강유전체 박막의 증착에 사용될 것입니다.

목록보기