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공동활용 연구장비

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마이크론 초점 X-선 광원장치

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Microfocus x-ray source

  • 모델명 X-ray capillary
  • 제조사 Sigray
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 방사선발생/측정장비 > 가속기

상세정보

구축일자 2021-02-19
납품업체 Sigray
위치
구성및성능 APXPS(Ambient-Pressure X선 Photoelectron Spectroscopy)에 사용하기 위해서는 높은 휘도를 갖는 X-선 광원이 필요하다. 일반적인 tube type의 x-선 광원은에서 높은 휘도의 X선을 얻기 위해서는 전자빔의 가속전압과 전류를 최대한으로 증가시켜야 한다. 그런데 전자빔의 가속전압과 전류가 지나치게 높으면 타겟에서의 온도상승이 급격히 일어나 열적 물리적 손상을 입게 된다. 금속판에서 전자빔에 의한 열 문제로 발생하는 X-선의 휘도를 증가시키는 데 제한이 있다. 이에 해당 시스템에서는 기존의 금속 대신 다이아몬드 블록을 양극전극으로 사용한다. 다이아몬드는 열전도도가 가장 우수한 재료 중의 하나로 구리의 5배 이상의 열전도도를 가진다. 그리고 이 다이아몬드 블록에 미세 패턴을 가공하고 그 패턴 안에 전기 도금 방법으로 Cr을 증착시킨다. 이러한 방식을 FAAST(Fast Array Anode Source Technology) 라 하며 이를 통해 전자빔과 미세 패턴 내 Cr 타겟과의 충돌을 통해 원하는 X-선을 발생시키면서 그 때 발생하는 열은 열전도성이 좋은 다이아몬드 블록을 통해서 효율적으로 빠져 나가게 하여 높은 휘도를 갖는 X-선 소스를 구성할 수 있게 된다.
장비안내 본 장치는 텅스텐 와이어에서 전압을 가해줘서 열전자가 방출되면, 열전자가 Cr target을 때리게 되어 X-선이 방출하게 된다. 방출된 X-선은 제동 X-선과 특성 X-선에 의해 모든 파장의 X-선이 나오게 된다. 그 중에서 우리는 Cr의 KαX-선을 얻기 위해 모노크로메터(Monochromator)를 이용하여, 5.4 keV의 에너지만을 얻어 APXPS (Ambinient Pressure X선 Photoelectron Spectroscopy) 실험에 사용한다.

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