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대학 자원

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공동활용 연구장비

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전자빔 소스

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Electron-beam source

  • 모델명 electron beam source
  • 제조사 Telemark
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 전기/전자장비 > 전력발생/저장장비 > 달리분류되지않는전력발생/저장장비

상세정보

구축일자 2021-08-23
납품업체 Telemark
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원　 지스트대학 C동 F4층 406호
구성및성능 - E-Beam source 7cc X 6 Pockets
- E-beam Power supply, 6KW
- XY Digital Sweep Control ,5 Shape types
- Deposition Controller ~ 99 Pocess,999 Layers, 99 Films
- Single parallel sensor and 2-3/4 CFF Kit
장비안내 본 위상양자소자 리더연구단에서는 위상학적인 초전도 소자의 제작을 통해 위상절연체 초전도 소자, 이차원전자가스 초전도 소자, 초전도 마이크로파 공진기, 초전도 양자 센서 등의 연구를 수행하고 있다. 이러한 초전도 양자 소자 연구를 수행하는데 있어서 고품질의 초전도 박막 형성이 필수적이다. 금번 구매 신청한 전자빔 소스는 고품질의 초전도 박막 전용 증착을 위한 고진공 전자빔 증착기를 제작하는데 사용될 것이다.

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