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공동활용 연구장비

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면저항기

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4Point Probe System

  • 모델명 CMT-SR2000N
  • 제조사 에이아이티
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 전기/전자장비 > 측정시험장비 > 다기능임피던스측정시험장비

상세정보

구축일자 2018-11-21
납품업체 에이아이티
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 중앙연구기기센터 F1층 111호
구성및성능 ○ Sheet resistance measurement
- Measuring method : Contacted by four point probe
- Measuring range : 1 mohm/sq ∼ 2 Mohm/sq
Resistivity measurement
- Measuring method : Contacted by four point probe
(Input thickness)
- Measuring range : 10.0 μohm·cm ∼ 200.0 kohm·cm

○ Current Source.
- Range : 5nA to 160mA

○ Measurement Accuracy.
- ±0.5% (Precision Resistor)

○ Measurement Repeatability. (2σ)
- ±0.15% (Precision Resistor)

○ Measurement time : Approx. 2 ± 1 sec/point

○ Four point probe (JANDEL ENG.)
- Pin spacing : 25 ∼ 50 mils by 5mil increments.

○ Tolerance ± 0.01 mm
- Pin Load : 10 ∼ 250 gram/pin
- Pin radius : 12.5∼500 microns (polished above 25μ)
- Needles : Solid tungsten carbide φ0.40 mm
장비안내 전자동으로 8 inch (200mm) wafer 또는 sample 의 표면저항을 측정할 수 있는 측정기입니다. 이 장비는 전용 PC 를 이용하여 원격제어에 의한 측정이 가능하며, 측정한 Data 를 분석할 수 있는 기능을 제공합니다.

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