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공동활용 연구장비

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고진공 열 증착 시스템

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Thermal Evaporator System

  • 모델명 SCEN-TES800
  • 제조사 싸이엔텍
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2019-12-12
납품업체 싸이엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1번지 광주과학기술원 다산빌딩 F6층 605호
구성및성능 Process chamber : STS304
Vacuum pump : Rotary oil pump
Deposition control unit
Vacuum measurement : Convection gague / Atm~1xE^-3(Torr)
장비안내 다양한 기판 내에 원하는 증착물질을 열을 가하여 필름상의 얇은 박막 합성을 할 수 있고 원하는 전류 전압을 인가하여 원하는 두께 컨트롤이 가능하다. 또한 금속을 이용하여 전도성 물질을 증착하여 2차원 물질의 원하는 사이즈 및 두께의 소자를 제작 할 수 있다.

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