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공동활용 연구장비

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엑스선 광전자분광기

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X-ray Photoelectron Spectroscopy

  • 모델명 NEXSA
  • 제조사 Thermo Fisher Scientific
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 방사선발생/측정장비 > X-선발생기

상세정보

구축일자 2019-12-20
납품업체 Thermo Fisher Scientific
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 중앙연구기기센터 F1층 111호
구성및성능 ◌ Electron analyzer
- Minimum energy step size : 3 meV
- XPS ultimate energy resolution of Ag 3 d5/2 : ≤ 0.5 eV FWHM
- Ultimate spatial resolution : < 10 um
- XPS on insulators : C 1s energy resolution (Ev) : < 0.85 eV
- Pass energy : 1 ~ 400 eV continuously selectable
- Detector : 128 channel detector
- Maximum sensitivity at 1 eV FWHM on Ag3d5/2 : > 4,000,000 cps
- X-ray spot sizes : 10 ~ 400 um

◌ Ar ion source
- Monatomic Ar+ ion source : 0.5 ~ 4 keV
- Gas cluster ion source : 2 ~ 8 keV (Cluster size : 75 ~ 2000 atoms)

◌ UV source for He I and He II
- UPS sensitivity : ≥2,000,000 cps @ 120 meV

◌ Vacuum transfer vessel
- Sample holder allowing samples to be transferred under vacuum into the systemsamples
장비안내 - 엑스선 광전자분광기(XPS)는 X선을 시료에 조사하여 광전효과에 의해 방출되어 나온 광전자를 분석하는 방법임.

- 광전자의 운동에너지를 측정하여 해당 시료의 원소를 분석할 수 있고, 전자의 결합에너지를 측정하여 화학적 결합상태에 대한 정보를 알 수 있음.

- XPS는 시료에 손상을 주지 않는 비파괴적인 분석이 가능하다는 장점과 함께 나노재료, 촉매, 세라믹, 그래핀, 고분자, 생체재료, 반도체, 이차전지, LED, LCD, OLED 등의 표면과 계면 상태변화 분석에 효과적임.

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