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공동활용 연구장비

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원자/분자층 증착장비

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Atomic/molecular layer deposition system (A/MLD)

  • 모델명 ALD100
  • 제조사 싸이엔텍
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비

상세정보

구축일자 2019-06-27
납품업체 싸이엔텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F1층 101
구성및성능 ● Process chamber
­ Material : STS304 / surface treament : electro polishing / Kalrez o-ring seal & Cu gasket
­ Door open type
­ Size : Ø250 x 130H
­ Port :　Two(2) 2.75"CF port, One(1) 1.33"CF port
- 2.75"CF flange with four(4) gas line
- Tee adaptor (2.75"CF-NW25)
- Sample zig (4ea)
- Thermocouple feedthrough (K-type)
- Kalrez o-ring
● Substrate heater
- Meterial : inconeal
- Size : Ø150 x 35T x 180L
­ Temp. controller : UP32
­ Max. temperature : 600℃ (accurancy ±1℃)
장비안내 ● 열원을 이용하여, 분자층/원자층 박막증착이 가능한 시스템
● 유기/무기 및 금속 나노복합 박막 증착이 가능하고, 증착 공정의 재현성을 위해 Recipe기능이 가능하도록 제작된 장비

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