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공동활용 연구장비

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고진공 스퍼터 및 카본 코팅기

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High Vacuum Sputter Coater

  • 모델명 EM ACE600
  • 제조사 Leica
  • 장비용도
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 코팅기

상세정보

구축일자 2018-11-20
납품업체 Leica
위치
구성및성능 - 사용 가능 금속 타겟 : Pt, C
- 카본과 금속 순차적 코팅 기능
- 최대진공 : ≤2ⅹ10-6 mbar
- 시편 자동 스테이지 3축 (회전, 높낮이, 기울기)터치스크린에서 모터에 의한 자동 조절
- 테이블 각도조절기능 (Stage tilt) : ± 60°
- 최대코팅시간 : 1800 sec 이상
- 코팅두께 : 1 nm – 1000 nm 이내
- 코팅두께 측정 장치 내장
장비안내 전자 현미경 관찰을 위한 시료 전처리 장비로서 Platinum 및 Carbon 등을 증
착할 수 있으며, 분석하고자 하는 샘플 표면에 매우 미세하게 코팅하여
전자현미경 관찰을 용이하게 하는데 활용 가능

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