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공동활용 연구장비

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투과전자현미경 시료 홀더 및 플라즈마 클리너

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Plasma Cleaner for TEM Samples/Holders

  • 모델명 MODEL 1070
  • 제조사 fischione
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 달리분류되지않는광학/전자영상장비

상세정보

구축일자 2018-12-18
납품업체 fischione
위치
구성및성능 ○ RF source
- Power supply (W/MHz): 65/13.56 - Automatic matching(tuning) network

○ Vacuum system
- Turbomolecular drag pump and a multistage diaphragm pump
- Base pressure(Torr): <5e-6
- Operating pressure(mTorr): <500

○ Chamber
- Accepts 2 ports

○ Gas
- Three gas inputs
- Delivery pressure(psi): <30
장비안내 재료표면의 화학반응 특성연구를 위해서는 Clean한 표면특성을 유지하는 것이 매우 중요하다. 시료를 제작할 때나 대기 중에 노출 시 시료표면은 여러 가지 원인으로 인해 산화(Oxidation)발생 및 오염(Contamination) 물질이 잔존하게 되고 이로 인해 전자현미경을 활용한 표면특성 해석 시 정밀분석이 불가능하여 표면특성 반응연구 활동에 어려움이 따르게 됨. 따라서 이온 플라즈마 클리너 장비를 활용하여 시료 Holder의 오염물질과 시료표면의 오염물질 (특히 Hydrocarbon)을 Process gas와 화학적 반응을 통해 Clean하게 처리함으로써 기존 보다 향상된 이미지와 분석결과를 산출할 수 있음. 본 장비는 중앙연구기기센터에 이전 설치 및 신규 구축 예정 장비인 전자현미경(SEM, TEM)의 정밀 분석 시 사전 전처리 장비로 활용될 예정이며 이를 통해 원자단위의 구조해석이 가능하여 표면 화학반응 연구에 필요한 중요한 장비임.

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