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공동활용 연구장비

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전계방사형주사전자현미경용 에너지 분산 엑스선 분광기

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Energy Dispersive X-ray Spectrometer for scanning electron microscopy

  • 모델명 Octane
  • 제조사 Edax
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2018-12-18
납품업체 Edax
위치
구성및성능 - LN2 Free SDD Detector
- Active area : 70mm2 or better
- Energy resolution : ≤ 125eV at Mn Ka
- Detection range : Al L (73eV) - Am
(Al L to Al K peak height ratio of 1:1 at 2.5 kV)
- Window type : Silicon Nitride(Si3N4) Window, 100nm thickness
- Max output count rate : ≥ 850kcps
- Simultaneously EDS/EBSD data collection
장비안내 주사전자현미경(SEM), 투과전자현미경(TEM)에 설치하여, 전자빔이 주사하는 영역에서 발생한 신호를 SDD(Silicon Drift Detector) 검출기를 사용하여, 정성분석, 정량분석 및 분포를 Mapping/Line scan 등으로 선택한 영역에서의 성분분포를 확인하는 분석기. 검출할 수 있는 성분 범위는 Be(4) -Am(95)이며, 최소 분석량은 0.1-0.3% 이며, 분석을 빠른 시간에 실시간으로 관찰하는 영역의 정보를 얻을 수 있음.

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