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공동활용 연구장비

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후방 산란 전자 회절 패턴 분석기

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Electron Backscatter Diffraction Pattern System (EBSD)

  • 모델명 TEAM EBSD System with HIKARI Plus Camera
  • 제조사 Edax
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 달리분류되지않는현미경

상세정보

구축일자 2018-12-18
납품업체 Edax
위치
구성및성능 - High Speed digital camera
- Data collection rates up to 1,000 indexed patterns per second with 99% indexing success rates
- Orientation precision values less than 0.1 degrees
- Designed for both orientation mapping and phase identification
- Automated camera setup in TEAM EBSD driven by application needs
- High quantum efficiency CCD
- Megapixel resolution (640 x 480)
- 12 bit digitization
- Selectable Binning Modes: 1x1, 2x2, 4x4, 5x5, 6x6, 8x8, 10x10, 13x13, 16x16
- High signal to noise ratio
- Chemical assisted indexing scan with EDAX EDS system
장비안내 ○ 재료의 미세조직 관찰, 집합조직 해석 및 결정립계 분석을 위한 전자후방산란회절 패턴기
- 본 장비는 주사전자현미경에 부착하여 원소의 물리적 파괴 없이 원소의 미세구조와 결정방위를 해석하고, 거시집합조직 및 미세조직관계의 규명에 이용됨. 재료의 집합조직을 연구함에 있어 기존에 널리 사용되어 온 XRD법과는 달리, SEM 관찰 배율 안에서 개별 결정립의 방위와 shape, size 등과 같은 마이크로 수준의 미세 해석이 가능. 측정된 EBSD 결과로부터 결정방위 분포, 극점도, 역극점도, 결정립 분석, 입계 분석 등 상세한 미세 집합조직 분석 작업을 위해 사용됨.

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