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공동활용 연구장비

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X-선 레이저용 변형 거울 챔버

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Deformable mirror chamber for x-ray laser

  • 모델명 개발장비
  • 제조사 디피아이
  • 장비용도
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 광파발생/측정장비 > 레이저발생장비

상세정보

구축일자 2010-06-30
납품업체 디피아이
위치
구성및성능 ① Main chamber flame
- Inner size : 가로폭 1700mm 이상,
세로폭 530mm 이상, 깊이 408mm
- Flame Thickness size : 15mm t 이상
- Door 지지용 Square Bar부착-45x45x496-1개소
- Square Bar 지지용 Bracket-전,후 2개소 부착
- Breadboard로 162mm 높이에 4“JIS Port-10개
- Breadboard로 162mm 높이에 4“ Window 2개소
- Breadboard에서 30mm 높이지점에서 2“
JIS Port 8개소

② Upper door flange
- Size : 1859mm×659mm×35mm(T) 이상
- Material : aluminum 6061-T5, anodizing 처리
- Viton O-ring으로 진공 유지 : O-ring이 빠지지
않도록 O-ring 홈 가공
- 4-eye bolt 포함

③ Under door flange
- Size : 1730mm×530mm×15mm(T) 이상
- Material : stainless steel 316L, 용접후 EP 처리
- Breadboard 연결용 flange 가공
- Roughing pumping line 연결용 NW40 flange
- Gate valve 연결용 ISO160 flange 가공

④ Pumping system 구성
- Under door flange 밑에 pneumatic gate valve(ISO160)를 연결할 부위를 제작함
- Roughing & foreline valve는 NW40 right angle valve를 사용함
- Pumping line : Ø1" pipe와 bellows, NW16 vent valve를 장착함
- Pumping시 진동이 main frame에 전달되지 않는 구조 일것.

⑤ Chamber Frame
- Size : 1730mm(W)×720mm(W)×856
(+80,-20)mm(H), 높이 가변 가능
- Caster : 개당 허용 하중 800kg, 총 허용
하중 2560kg
- Levelling foot : 허용 하중 4000 kg/6ea,
M20 bolt, pitch 2.5mm
- Material : stainless steel, 높이 가변 기능 장착

⑥ Breadboard & breadboard frame
a) Breadboard
- Size : 가로폭 1684mm 이상, 세로폭 480mm
이상, 두께 25mm
- 2점에 높낮이 조절장치 장착 (0.01mm/1pitch)
- Material : aluminum, vacuum breadboard
- Mounting Hole:M6-1.0 holes on 25mm grid
- Surface Flathness : ±0.001mm over 10002mm
- Max Dynamic deflection coefficient:
<5.0x10in-3 ,
- Deflection under load: <5.0x10in-5
- Max Relative Motion Value:<5.0x10in-9
- Breadboard levelling Bellows Flange
- Chamber Frame이동시 Breadboard frame도
이동이 가능하거나 분리 할 수 있을 것.
- Vacuum배기중 Breadboard에는 진동이 전혀
전달되지 않을 것.
장비안내 엑스선 발생 챔버에 연결되어 변형 거울을 진공 내부에 설치하여 엑스선 발생 챔버로 입사하는 레이저 빔의 파면을 보정하는 데에 사용되는 진공 챔버. 진공챔버는 상기 펄스 압축기의 모든 마운트를 내장한 상태에서 진공도 10-7 torr 정도를 항시 유지할 수 있도록 제작되어야 한다. 진공챔버를 배기하더라도 레이저빔의 펄스폭이 100 펨토초 이하로 유지되고 vacuum rated motorized actuator로 미세 조정하여 30 펨토초 이하의 펄스폭을 얻을 수 있고, 진공챔버는 이같은 변형을 최소화할 수 있는 구조로 제작되었다.

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