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공동활용 연구장비

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정밀나노전기계측시스템

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Precision Nano Electrical Measurement System

  • 모델명 MST-8000CH
  • 제조사 엠에스테크
  • 장비용도 계측
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

상세정보

구축일자 2015-10-16
납품업체 엠에스테크
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 다산빌딩 F6 603
구성및성능 ○ Probe station main assembly
- 나노스케일 소자의 정교한 컨트롤을 위해 customizing된 probe-station m ainframe
○ Microscope & Imaging set
- Customized된 probe-station을 위한 고배율의 (최대 3000배) 광학현미경
○ Nano-probing set
- 100 nm의 해상도로 전자동으로 이동 가능한 z-stage
○ Cat-whisker probe tip
- 얇고 무너지기 쉬운 개별 나노구조 소자를 쉽게 probing 할 수 있는 전 용 tip
○ Hot chuck system
- 측정시 온도를 섭씨 200도까지 안정적으로 변화 시킬 수 있는 chuck
○ System components and Utilities
- Probe-station흔들림을 방지해주는 테이블, 저소음 에어컴프레셔, 쉴딩박스 포함
○ Semiconductor device analyzer
- CMOS소자의 전류를 pA까지 측정가능하며 C-V측정이 가능한 분석기
장비안내 본 장비는 나노스케일에서 전기적 특성을 측정하기 위한 정밀 probing이 가능한 장비로서, 본 연구자가 진행하는 개별 나노구조물 (나노선, 나노라티스 등)의 온도의 변화에 따른 전기적 특성과, 기계적 스트레스를 최소로/조절하여 주며 I-V, Capacitance 특성을 측정 및 분석 할 수 있다. (정밀탐침, 온도조절외에 고해상도 현미경과 C-V측정이 가능한 사양으로 특화(customizing) 되어 있음.)

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