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공동활용 연구장비

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Pre-Lens 차등 펌핑시스템

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Pre-Lens Differential Pumping System

  • 모델명 HiPP-3
  • 제조사 Vg Scienta
  • 장비용도
  • 장비구분 화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > 광전자분광기

상세정보

구축일자 2015-12-09
납품업체 Vg Scienta
위치 F4
구성및성능 1) 200CF UHV and Mu-metal interface
2) 80mm o-ring HV interface
3) Exchangeable front cone
4) Combined imaging unit
5) Electronics Requirements
- Temperature stability < 2 ppm/ºC (R-version) (typical 0.5 ppm/ºC)
- Noise (AV at analyzer) < 1 ppm + < 500 μV (typical 0.5 ppm 200 μV)
- Drift < 20 ppm/year (typical 10 ppm/year)
- Electric isolation 6 kV
- Min. step size HV100 1.6 mV
- Min. step size DAC 200 μV
- DAC Bits 16
- Modular : Yes
- Communication USB
장비안내 ○ 본 Pre-Lens Differential Pumping System는 진공에서 취급할 수 없는 Liquid 샘플 등을 대기압 근처의 환경에서 핸들링 및 표면 분석 작업을 수행할 수 있도록 해주는 장비임

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