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공동활용 연구장비

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열증착기 및 통합형 글러브 박스

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Thermal Evaporator(Inside type) & Multi glove box

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 우성하이백
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2015-05-27
납품업체 우성하이백
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 신소재공학동 F4 406
구성및성능 ● Size : Glove box full set (1500W x 780D x 870H)Thermal Evaporator (Dia450 x 500H)
● Working gas : Nitrogen or Argon (Purity > 99.999%)
● Purifier capacity : Oxyzen 10 liter, Moisture 400g (less than 1ppm)
● Circulation blower flow rate : 40cfm
● Thermal power : 5V, 300A 4ea
● Vacuum late : ATM to 1 x 10E-7 Torr
● Thickness controller : 1A/set resolution 4Ch
● Vacuum pump : Scrol dry pump
● Oven Ante chamber
장비안내 최근 각광 받고 있는 신소재인 유기물 반도체 물질을 이용해서 유기물 전자소자나 광전자소자를 제작하고 이에 대한 특성을 평가하여 가장 효율적인 물질 구조를 발견하는 연구를 수행하려고 합니다. 그런데 이런 유기물들은 수소와 수분에 매우 민감하게 반응하여 쉽게 변질되고 소자 제작 시 산소와 수분에 의한 소자 성능이 저하되는 치명적인 약점을 가지고 있다. 따라서 이러한 약점을 극복하고 본원의 연구를 성공적으로 수행하기 위해서는 소자제작과정에서 산소와 수분을 제거해야 하며 이러기 위해서는 산소와 수분을 제거한 상태로 만들어주는 글로브 박스가 본 장비 이다.

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