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공동활용 연구장비

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멀티 건 스퍼터 장치

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Multi gun sputtering system

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 다다코리아
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

상세정보

구축일자 2015-09-23
납품업체 다다코리아
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 신소재공학부 604호 광주과학기술원 신소재공학부 F5 505호
구성및성능 a. Chamber Module
- SUS3 328*H340, Electrical polishing
- 8" Substrate port
- 6" Pumping port
- 6" Cathode port
- CF2.75" Gauge port,Extra port
- Horizental cylinder type
- Front Door - Contamination protect shield plate
- 6" view window
- 6" View window shutter
- Chamber illumination b. Substrate Module
- Substrate Rotation unit
- Substrate holder

c. Cathode module
- RF600w&Auto matcher
- 1.5" Magnetron gun & Shutter
- 2" magnetron gun & Shutter

d. pumping Module
- Turbo pump 300liter
- Rotary pump 340Liter
- Gate Vavle 6" Manual
- Angle valve NW25
- Vacuum Hose&clamp set
- Chamber vent valve
- Rotary vent valve
장비안내 스퍼터링 시스템은 연구, 산업 분야 쪽에서 가릴 것 없이 박막 증착에 있어서는 널리 사용되는 장비로써, 고밀도의 막질을 가지는 다양한 산화물 및 금속 박막 증착이 가능한, 물리적 기상 증착법의 하나인 스퍼터 공정을 위한 시스템임.

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