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전자빔소스 및 전원공급장치

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model TT-6 Electron Beam Power Supply

  • 모델명 electron beam source
  • 제조사 Telemark
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 전기/전자장비 > 전력발생/저장장비 > 달리분류되지않는전력발생/저장장비

상세정보

구축일자 2014-02-13
납품업체 Telemark
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 광주과학기술원 GIST대학 C동 F4 406
구성및성능 구성 :
- Electron beam source : 4 pocket X 7cc - Electron beam power supply : 6kW 208V or 400V, 50/60Hz, 83 X 635 X 356 mm - Crucible indexer : 4 pocket continuous or retrograde motion with speed control and remote PLC operation.
성능 :
실험에 필요한 여러 종류의 금속 및 금속산화물을 쉽게 증착시킬 수 있습니다. 한 층의 박막 뿐 아니라 다층 박막 실험도 가능해져서 실험에 많은 도움이 될 것이라 기대됩니다.
장비안내 반도체나 디스플레이 산업이 발달함으로서 기판 위에 금속이나 금속산화물을 증착시키는 작업이 자주 중요한 역할을 하고 있습니다. 위의 물품은 전자빔을 이용하여 금속을 증착시킬 수 있는 전자 빔 소스와 전원공급기입니다. 전자빔증착은 박막을 증착시키거나, 소자특성을 측정할 수 있게 하는 전극을 증착시킬 때 필수적으로 사용되는 시스템입니다.

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