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공동활용 연구장비

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스플리트 스테이지 온더플라이 정밀 위치 제어 시스템

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split stage type on the fly motion control system

  • 모델명 모델명 없음
  • 제조사 에스엠텍
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비

상세정보

구축일자 2014-10-08
납품업체 에스엠텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 F1 113
구성및성능 가. Split Motion Stage - XYZ Stage, 석정반 베이스 -XY Stroke : 300 mm -Z Stroke : 100 mm -Marking on the fly -Speed : 500 mm/s (25kg Load) -Accurcy : +/- 3 um -Repeatbility : +/- 0.5 um
나. Image Analysis & Mesurement software - Mesurement tool - image egde detection - real time view - movie file save
다. CAD/CAM software on the fly -for stage G code -Simulation fuction -Clip art library -Drawing toolbar
라. Machine Vision - Zoom 70XL magnification 7x ~ 1x - CCD 1/3", Color, Resolution 1024x768 - 100W illumination, Temperature Protection circuit - Laser beam splitter block
마. NIR 10X - Mitutoyo NIR Infinity corrected objective -Numerical Aperture, NA: 0.26 -Working distance,WD(mm) : 30.5 -Depth of focus (um) : 4.1 -Field of view(mm), 1/2 CCD : 0.64x0.48 mm -Weight : 250 g
바. Industrial Computer -Intel i5 processor -Advantech Chassis 4U 19" Rackmounted -Samsung 19" LCD Monitor
장비안내 위 물품은 슬플리트 타입의 XY 스테이지의 스택업 방식이 아닌 독립적인 스테이지 구성으로 아래쪽에는 Y축 스테이지 석장반 고정에는 X축 스테이지가 위치한다. 또한 광학 스캐너 사용이 고속의 대면적 가공이 가능한 온더 플라이 기능이 탑제 되어 정밀도가 보증 되며 고속 위치제어가 가능하다. 구성으로써는 위치제어를 하는 컴퓨터 스테이지 드라이버, 위치 기반 측정 소프트웨어 제어 소프트웨어로 구성 합니다. 통신 규격으로는 XY2-100 통신 규격을 사용하며, 또한 외부 IO 기능이 있어 외부 기기와 연동이 가능합니다.. (예, 레이저, 셔터, 빔 덤프 등) 기존의 스택업 방식의 무게를 스테이지를 분리 함으로서 고속 고정밀이 가능 합니다.

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