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공동활용 연구장비

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대면적용 고진공 열 증착기

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Large-area high vacuum thermal evaporator

  • 모델명 GVEV 5000-1406
  • 제조사 지브이텍
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열증착기

상세정보

구축일자 2014-11-19
납품업체 지브이텍
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 신재생에너지연구동 광주과학기술원 신재생에너지연구동 F4 401
구성및성능 규격(성능 및 사양) : -. 챔버 사이즈: L X W X H = 약 1000 X 1000 X 1000 -. 코팅 면적: 최대 297 X 210 샘플 코팅 가능, 최소두께 5nm, 균일도: ±2%이내 -. Base 진공도 : 1X 10E-7 Torr -. 고진공펌프 : 극저온 흡착식 펌프, Speed : 2500 L/sec -. Metal Source : 3ea (Al, Ag, Au) -. Source Power Capacity : 2kW, 3set -. 샘플 홀더 : 회전 기능 (0~20 rpm), -. 샘플 홀더 히팅 기능 : 상온에서 ~ 약 300 ℃ 승온가능 -. 샘플홀더 로딩기능 : 대면적 샘플 로딩 언로딩 기능 포함, Up/Dowm 및 Linear 모션 -. 정면 프론트 도어 이외에, 측면 게이트 벨브로 샘플 반출입 가능 구조. -. 박막 두께 측정 모니터링 장착, 분해능 (0.1 Å/sec)
장비안내 - 고효율의 유기태양전지 및 에너지 소재가 상용화 단계로 이어지기 위해서는 대면적의 프로토타입 소자를 만드는 과정이 필요함.
- 슬롯다이, 닥터블레이드와 같은 프린팅 기법을 사용해 대면적의 소자를 제작할 경우 금속 전극을 증착하는데 6x6cm 이상의 크기로 소자를 제작하는데 한계가 있었음.

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