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공동활용 연구장비

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텅스텐 필라멘트 주사전자현미경

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W-Filament Scanning Electron Microscope

  • 모델명 Genesis-1000
  • 제조사 엠크래프츠(Emcrafts)
  • 장비용도 시험
  • 장비구분 광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경

상세정보

구축일자 2014-11-27
납품업체 엠크래프츠(Emcrafts)
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 지스트대학 B동 316 광주과학기술원 지스트대학 B동 F1 114호(임시)
구성및성능 1. 배율 : 10배 ~ 300,000배
2. 가속전압 : 200V ~ 30kV
3. 필라멘트: 센터링 되어 있는 필라멘트 카트리지
4. 사용 필라멘트
- AEI 기반 ZEISS EVO용 필라멘트 사용가능 할 것
(세라믹외경: 12mm, 핀지름: 1mm, 핀중심간 거리: 6.45mm)
5. 가변애퍼춰: 4개의 애퍼춰, 20/20/50/100μm의 외경
- 전기적으로 애퍼춰 align이 가능할 것
6. 이미지쉬프트 : ±50μm
7. 스테이지 : 5-축 매뉴얼 (X,Y: -20 ~ 20mm / Z: 5 ~ 45mm / T: -20 ~ 90° / R: 360°)
8. 자동기능 : 자동초점, 자동필라멘트, 자동건정렬, 워블
9. 최대 샘플크기 : 가로: 96mm / 세로: 50mm
10. 진공 시스템 : 완전 자동화된 진공 시스템 - 메인펌프로 터보펌프 채용 - 백업펌프로 로터리펌프 채용 - 압축공기가 불필요한 전자밸브 시스템 - 컴퓨터 전원 켜지 않은 상태로 진공/벤트가 가능해야 함.
11. 진공모드 : 고진공 모드 (< 9x10-3 Pa)
12. 작업PC : Windows 8-기반의 All-in-One 20" 워크스테이션 - 100% 키보드와 마우스로 조작 가능해야 함.
13. 운영SW : EmCrafts Virtuoso 1.1 - 마우스 휠을 이용하여 줌인/줌아웃 가능할 것 - 마우스 휠을 이용하여 초점을 비롯한 변수 조정이 가능할 것
14. 제공 악세사리 : - 필라멘트 : 1box (10 units) - SEM 마운트: 1box (10 units) - 트위져 1개 - Hex 드라이버 1개 - Hex T 렌치 2개
장비안내 주사전자현미경은 전자빔을 이용하여 샘플을 30만배까지 확대시켜볼 수 있는 장비로서 기존 광학현미경으로 관찰할 수 없는 나노 스케일의 형상을 관찰할 수 있으며 추가로 BSE, EDS, EBSD등의 악세사리를 장착하는 경우 화학적 조성, 결합 구조의 방향성 등도 분석해 낼 수 있다.
재료, 화학, 물리, 금속, 기계, 신소재, 반도체, 법의학 등 다양한 분야에서 사용하며 해당 분야 연구개발을 위해서는 필수적인 장비이다.

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