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공동활용 연구장비

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나노 정밀 레이저가공 시스템용 에어베어링 스테이지

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Nano precision airbearing stage

  • 모델명 ABL15020
  • 제조사 areotech
  • 장비용도 분석
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 자동화/이송장비 > 위치제어장비

상세정보

구축일자 2013-11-26
납품업체 areotech
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1 광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 F1 113
구성및성능 Nano precision airbearing stage
- Travel : X=200mm Y=200mm Z=100mm
- Guide : Orifice Air Bearing for XY Axis Linear Motion Guide for Z Axis
- Accuracy : +/-500nm for X and Y +/-1um for Z
- Repeatability :+/-200nm for X and Y +/-0.5um for Z
- Resolution :1nm for XY 500nm for Z
- Straightness & flatness : +/-500nm for XY +/-1um for Z
- Pitch/Roll/Yaw : +/-2 arc sec for XY 8 arc sec for XY
- Maximum Travel speed :2m/s (No payload)
- Maximum Linear Acceleration :2g (No payload)
- Maximum Travel speed :300mm/s (about 10Kg payload)
- Maximum Linear Acceleration :0.25g (about 10Kg payload)
- Maximum Load : 35Kg
장비안내 초정밀 고속 가공이 가능하고 펄스 폭을 변경 시킬 수 있는 레이저를 이용하여 가공 및 물질의 특성 연구를 진행함. 연구에 사용되는 레이저는 펄스 폭을 변경할 수 있도록 개발한 레이저를 사용함. 본 장비는 레이저를 이용한 연구를 위해 수 나노미터 이동이 가능한 초정밀 stage 동작 및 운영을 위해 사용됨.

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