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페럴린코팅장치

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Parylene Deposition Equipment

  • 모델명 PDS2010
  • 제조사 Specialty Coating Systems
  • 장비용도 생산
  • 장비구분 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기

상세정보

구축일자 2010-02-23
납품업체 Specialty Coating Systems
위치 광주광역시 북구 첨단과기로 123 (오룡동) 1번지 광주과학기술원 다산빌딩 B1층 2
구성및성능 1. 냉각기 (Chiller)
PDS2010의 Mechanical chiler는 상기 PDS 2010의 운용에 반드시 있어야 하는 장치로 본 장치는 챔버 내의 수증기 및 다른 기체를 응집하여 초기 진공에 신속히 도달하게 하거나 공정 중 코팅 후 잔여 모노머를 포집하여 코팅의 품질을 높이는 핵심적인 역할을 한다.
2. 챔버부 (Chamber)
Parylene이 피사체에 증착되는 부분으로 상온으로 유지되며 뒤쪽에 Adhesion promotor 분사장치가 부착되어있어 parylene이 쌓이기 전 AP를 고온으로 가열하여 저기압상태에서 기체상태로 분사된다. Monomer 가스는 chamber에 도달하여 증착된 뒤 냉각봉이 연결된 통로로 빠져나가 잔여 monomer는 냉각봉에의해 포집된다
3. 본체 (Generation unit)
PDS2010의 Generation unit은 고상의 코팅 원재료가 모노머 가스로 기화되어 상온인 Camber 내부에서 Parylene으로 변화되는 핵심적인 부분으로 분해관 내부에 이물질 또는 코팅막 잔사가 적충되지 않도록 유지하여야 한다.
장비안내 상온의 진공상태에서 가스상의 형태로 형상에 관계없이 마이크로 두께 단위로 피사체에 패럴린을 증착시켜 고분자 코팅막을 형성할 수 있는 장비이다. 단순 복잡한 형상의 PCB 제어보드 유리 금속 종이 레진 플라스틱 세라믹 페라이트 실리콘 등의 재질의 표면보호를 극대화 시켜주는 패럴린막 형성이 가능하다. 즉 전기 기계 우주항공 의료 그리고 엔지니어링 산업에서 소자 부품 및 표면 보호를 위한 코팅막을 형성하는데 널리 사용되고 있다.

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