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텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2007-03-07
취득구분 등록
기술분류
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-0694794
출원(등록)번호 10-2004-0046188
출원형태
발명자수 3
DOI 값
주요내용
본 발명은 광대역 평판형 증폭기에 관한 것으로 특히, 텅스텐-텔루라이트 유리박막의 제조 방법 및 텅스텐-텔루라이트 유리박막을 갖는 광대역 평판형 증폭기에 관한 것이다. 본 발명은 텔루르 옥사이드 (Tellurium (VI) oxide)와 텅스텐 옥사이드 (Tungsten (VI) oxide)를 고상소결법을 이용하여 텅스텐 텔루라이트(TeO 2 -WO 3 )의 타겟을 제조하는 단계; 모재를 세척하는 단계; 증착 챔버내에서 RF스퍼터링을 이용하여 상기 타겟 물질을 상기 모재에 증착시켜 텅스텐-텔루라이트박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 유기영 | 전남대학교 무기재료공학과 |
| 김진혁 | 전남대학교 신소재공학부 |