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레이저 리소그래피를 이용하여 형성되는 3차원 구조의 광흡수층을 가지는 태양전지 제조방법

구분 특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2015-04-20
취득구분 등록
기술분류 재료
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-1515301
출원(등록)번호 10-2013-0112099
출원형태
발명자수 2
DOI 값
주요내용
특허 이미지

레이저 리소그래피를 이용하여 3차원 구조의 광흡수층을 가지는 태양전지를 제조하는 방법이 개시된다. 이는 하부구조 상에 하부구조의 표면을 노출시키는 다수개의 노출부를 가지는 포토레지스트 마스크를 형성하는 단계와, 하부구조의 노출된 표면에 광흡수층의 일부 또는 전부를 위한 기둥형 전구체층을 형성하는 단계를 포함하며, 포토레지스트 마스크의 형성은 레이저 리소그래피를 이용한다. 이러한 레이저 리소그래피는 경제적인 제조비용으로 3차원 구조의 다양한 광흡수층을 정밀하게 형성할 수 있다.

발명자 정보

이름 소속
김진혁 전남대학교 신소재공학부