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나노패턴을 갖는 플렉서블 기판 및 그 제조방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2014-07-03
취득구분 등록
기술분류
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-1417753
출원(등록)번호 10-2012-0064797
출원형태
발명자수 7
DOI 값
주요내용
본 발명은 나노패턴이 형성된 플렉서블 기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노패턴을 갖는 플렉서블 기판의 제조방법은, 플렉서블 기판 상에 산화아연 버퍼층을 형성하는 단계와; 상기 산화아연 버퍼층 상에 산화아연 나노구조물을 제작하는 단계와; 상기 산화아연 버퍼층에 대하여 제1차 에칭을 수행하는 단계와; 상기 산화아연 나노구조물을 마스크로 이용하여 상기 플렉서블 기판에 대하여 제2차 에칭을 수행하는 단계와; 상기 산화아연 버퍼층 및 상기 산화아연 나노구조물에 대하여 제3차 에칭을 수행하는 단계를 포함한다. 이에 의하여 나노패턴이 직접 형성된 플렉서블 기판을 획득할 수 있다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 김진혁 | 전남대학교 신소재공학부 |