본 발명의 일 실시 예는 금속 산화물 보호층을 포함하는 CZTSSe계 박막 태양전지 및 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시 예에 따른, 금속 산화물 보호층을 포함하는 CZTSSe계 박막 태양전지의 제조 방법에 따르면, 금속 산화물 보호층은 p형 칼코젠 광흡수층을 보호하는 역할을 함과 동시에, 후 공정 과정을 수행하는 동안 상기 p형 칼코젠 광흡수층이 받는 충격을 최소화 시켜 p형 칼코젠 광흡수층 내에 생성되는 결함 밀도(defect density)를 감소시키는 효과가 있다.