기판 상의 절연막 표면에 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어지는 배선 재료층을 형성하는 공정과, 상기 배선 재료층을 레지스트 패턴을 마스크로 하여 리액티브 이온 에칭에 의해 패터닝하여 배선을 형성하는 공정과, 퍼옥소황산염과, 불화수소산 또는 불화수소산암모늄 중에서 선택된 불소 함유 화합물, 및 pH 조정용의 산을 포함하고, pH값이 -1∼3인 에칭 잔사 제거용 수용액에 의해 상기 배선을 포함하는 절연막 표면을 처리하는 공정을 포함한다. 에칭 잔사물, 퍼옥소황산염, 변질층, 비아홀, 비아필