전기적 특성이 우수한 비정질 금속산화물을 유전체로 하는 박막캐패시터와 이를 내장한 인쇄회로기판 및 그 제조방법이 제공된다. 박막 캐패시터는 제1금속 전극막과 상기 제1금속 전극막상의 BiZnNb계 비정질 금속산화물의 유전체 및 상기 유전체상의 제2금속전극막으로 구성되고, 상기 유전체는 100mTorr이하의 산소분압에서 형성된 것이다. 이 유전체는 40~120 Å의 표면거칠기(RMS)를 갖는다. 본 발명의 박막 캐패시터는 저온에서 금속산화물을 형성하고 저온의 열처리조건에서도 높은 유전특성을 갖는 것으로, 인쇄회로기판에 내장되어 디커플링 캐패시터로 사용될 수 있다. 내장형 캐패시터, 인쇄회로기판, 산소분압, 표면거칠기, 비정질, BZN