마이크로리소그래피 시스템 내에서 이용되기 위한 조명 시스템 내에 릴레이 렌즈가 제공된다. 릴레이 렌즈는 변경 가능한 구경 크기를 갖는 텔레센트릭 광빔에 의해 레티클에서 필드를 균일하게 조명하는 데에 이용된다. 릴레이 렌즈는 제1, 제2 및 제3 렌즈군을 포함할 수 있다. 제2 및 제3 렌즈군 중 적어도 하나는 단일 렌즈를 포함할 수 있다. 이러한 구성은, 종래의 시스템에 비해 더 적은 수의 광학 소자를 이용하기 때문에, 보다 적은 CaF 2 가 필요하게 됨으로써, 비용을 절감시키고 투과율을 증가시킨다. 리소그래피 시스템, 조명 시스템, 릴레이 렌즈, 텔레센트릭