본 발명은 탄소 담지체를 준비하는 단계; 탄소 담지체에 전이금속 단원자 촉매를 증착하는 단계;를 포함하는 전이금속 단원자 촉매 증착 방법으로서, 탄소 담지체는 산화에 의해 표면 처리가 이루어지고, 증착은, 아크 플라즈마 공정을 통해 이루어지는 전이금속 단원자 촉매 증착 방법에 관한 것이다.