본 발명은 제 1 전원(Vin1)으로부터 반도체 공정 설비 측으로 공급되는 전원을 무순단으로 공급할 수 있는 제 1 스위칭 소자와, 제 2 전원(Vin2)으로부터 반도체 공정 설비 측으로 공급되는 전원을 무순단으로 공급할 수 있는 제 2 스위칭 소자를 포함하는 전원 절체 스위치에 관한 것으로서, 제 1 스위칭 소자는 제 1 반도체 스위치(Q1) 및 제 2 반도체 스위치(Q2)를 포함하고, 제 1 반도체 스위치(Q1)의 소스와 제 2 반도체 스위치(Q2)의 소스가 서로 연결되고, 제 1 반도체 스위치(Q1) 및 제 2 반도체 스위치(Q2)의 소스와 이미터에는 각각 다이오드(D1, D2)가 역방향 병렬로 연결되며, 제 2 스위칭 소자는 제 3 반도체 스위치(Q3) 및 제 4 반도체 스위치(Q4)를 포함하고, 제 3 반도체 스위치(Q3)의 소스와 제 4 반도체 스위치(Q4)의 소스가 서로 연결되고, 제 3 반도체 스위치(Q3) 및 제 4 반도체 스위치(Q4)의 소스와 이미터에는 각각 다이오드(D3, D4)가 역방향 병렬로 연결되며, 제 1 전원(Vin1)에 이상이 발생하면 제 1 스위칭 소자의 제 1 및 제 2 반도체 스위치(Q1, Q2)의 게이트에 동시에 오프(Off) 신호가 인가되고, 이와 동시에 제 2 스위칭 소자의 제 3 및 제 4 반도체 스위치(Q3, Q4)의 게이트에 동시에 온(On) 신호가 ...(이하생략)