본 발명은 마이크로 탐침장치 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 날카로운 탐침을 제작하는데 있어서, 건식식각 방식 및 습식식각 방식을 동시에 수행하는 새로운 방식의 공정을 이용하여, 사각구조의 4 단자 탐침을 제작함으로써, 시편의 평면상 뿐만 아니라, 곡면상의 전기적 특성의 측정가능하다. 또한, 캔틸레버내에 열적구동을 위한 열구동 배선을 형성하여, 각각의 캔틸레버를 초소형 집게로도 활용가능한 마이크로 탐침장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 마이크로 4 단자 탐침, 열구동기, 마이크로 집게