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습식 식각 장치
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2010-10-05
취득구분 등록
기술분류 기술혁신/과학기술 정책
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 1009871110000
출원(등록)번호 10-2008-0092961
출원형태
발명자수 3
DOI 값
주요내용
본 발명은 습식 식각 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 식각 용액에 반응하지 않는 소수성의 식각 용기, 및 상기 식각 용기를 식각 대상에 점착시키는 점착부재를 포함하는 습식 식각 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 원하는 부분만을 쉽고 간단하게 식각할 수 있는 습식 식각 장치를 제공한다. 테프론, PDMS, 습식 식각, 웨이퍼
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이동원 | 전남대학교 기계공학부 |