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마이크로 스테이지 제조 방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2010-12-02
취득구분 등록
기술분류 기술혁신/과학기술 정책
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 1009996580000
출원(등록)번호 10-2008-0092956
출원형태
발명자수 2
DOI 값
주요내용
본 발명은 마이크로 스테이지를 제조하는 방법에 관한 것으로, 높은 열팽창 계수를 가지는 열팽창 소재 및 상기 열팽창 소재에 열을 인가하는 열선을 포함하며, 상기 열선의 열에 의한 열팽창 소재의 열팽창 힘을 이용하여 구동하는 마이크로 스테이지를 제조하는 방법에 관한 것이다. 마이크로 스테이지, PDMS, SU-8, 열선, 열팽창
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이동원 | 전남대학교 기계공학부 |