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전기화학적 식각을 이용한 탐침 제작장치 및 탐침
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2011-11-30
취득구분 등록
기술분류 기계
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-1090493
출원(등록)번호 10-2008-0091794
출원형태
발명자수 4
DOI 값
주요내용
본 발명은 금속와이어에 탐침을 형성하는 식각장치에 관한 것으로 보다 상세하게는, 전기화학적 식각장치에 소수성을 갖는 테플론으로 이루어진 식각용기를 구비함으로써, 종래의 전긱화적 식각장치가 갖는 문제점을 해결하고, 고종횡비의 날카로운 탐침을 제작할 수 있는 전기화학적 식각을 이용한 탐침 제작장치 및 탐침에 관한 것이다. 소수성, 텅스텐, 메니스커스, 테플론, 전기화학적 식각, STM
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이동원 | 전남대학교 기계공학부 |