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폴리머 마이크로 탐침장치, 및 그 제작방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2015-08-24
취득구분 등록
기술분류 기계
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-1548246
출원(등록)번호 10-2013-0135270
출원형태
발명자수 1
DOI 값
주요내용
본 발명은 폴리머 마이크로 탐침장치, 그 제작방법에 관한 것으로, 본 발명의 폴리머 마이크로 탐침장치는, 다수의 금속패드(111)가 마련되며, 일단에 돌출 형성된 캔틸레버(112)가 일체로 마련된 폴리머 재질의 몸체부(110)와; 상기 금속패드(111) 각각과 대응되어 전극 패턴으로 연결되며, 상기 캔틸레버(112)를 따라서 고정되어 선단이 상기 캔틸레버(112)의 외측으로 돌출 형성되어 시편과 접촉이 이루어지는 서로 독립 구동이 가능한 다수 개의 탐침(121)을 갖는 탐침부(120);를 포함한다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이동원 | 전남대학교 기계공학부 |