본 발명은 폴리머 마이크로 탐침장치 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체의 저항 특히, 절연체 위에 형성된 금속 박막의 비저항을 측정하는 4 단자 탐침의 구조와 제작방법에 관한 것이다. 본 발명은 마이크로 탐침장치에 있어서, 금속패드가 형성된 바디 패턴부와, 이러한 바디 패턴부에 연결된 캔틸레버부를 포함하며, 여기서 캔틸레버부는, 일면 끝단에 다각 형상체가 돌출되어 형성된 탐침과, 바디 패턴부의 금속패드로부터 연결되어 탐침면 상에 형성되는 탐침 패턴을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 상기와 같은 본 발명에 따르면, 사각 구조의 탐침 정렬 방법을 제안하여 작은 시편 및 굴곡이 있는 시편을 측정할 수 있고, 웨이퍼 표면의 결정 방향에 다른 전기적인 특성평가를 할 수 있으며, SU-8 즉, 폴리머 계열의 재료를 사용함으로써, 기존의 실리콘 기반의 탐침장치보다 제작 공정이 간단하고, 제작비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.