기판 재생 방법 및 재생 기판이 개시된다. 이 방법은, 에피층으로부터 분리된 표면을 갖는 기판을 준비하고, 기판 표면을 전기화학식각 기술을 이용하여 식각하고, 전기화학식각 기술을 이용하여 식각된 표면을 화학식각 기술을 이용하여 식각하는 것을 포함한다. 이에 따라, 양호한 성장 표면을 갖도록 기판을 재생할 수 있다.