Loading...
반도체 나노막대의 형성방법, 반도체 디바이스 및 그 제조 방법
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2023-12-22
취득구분 등록
기술분류 물리학
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2618807
출원(등록)번호 10-2021-0005033
출원형태 단독출원
발명자수 3
DOI 값
주요내용
본 발명은 금속지지대와 상기 금속기판 상부에 형성된 그래핀층과, 상기 그래핀층 상부에 수직으로 형성된 반도체 나노막대들을 구비하는 반도체 디바이스를 제공한다. 본 발명에 의하면, 반도체 나노막대를 금속 기판 위에 성장할 수 있게 됨으로써 반도체 기반의 디바이스를 우수한 열전도 및 전기전도 특성이 있는 금속 기판 위에 제작할 수 있게 된다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 류상완 | 전남대학교 물리학과 |