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나노막대를 포함하는 나노막대 발광 구조물, 발광소자 및 그 제조방법, 그의 패키지 및 이를 포함하는 조명장치
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2022-10-06
취득구분 등록
기술분류 물리학
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-2453545
출원(등록)번호 10-2021-0168724
출원형태 단독출원
발명자수 1
DOI 값
주요내용
본 발명은 나노막대를 포함하는 나노막대 발광 구조물, 발광소자 및 그 제조방법, 그의 패키지 및 이를 포함하는 조명장치에 관한 것으로, 상세하게는, 본 발명은 건식식각과 습식식각의 2단계 식각공정으로 나노막대를 형성함으로써 종래의 에피성장 공정시 적용하고 있는 바텀-업 방식의 공정이 갖는 한계를 극복할 수 있고, 종래에 비해 공정을 단순화하고 우수한 결정질을 갖는 나노막대 발광 구조물을 형성할 수 있으며, 유전층을 통해 나노막대의 경계에서 오버행(overhang) 구조를 형성하여 제2 도전형 반도체층의 성장을 조절함으로써 후속 금속화 공정이 용이하다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 류상완 | 전남대학교 물리학과 |