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PZT막 제조용 전구체 조성물 및 그 보관용기
구분
특허/실용/디자인/상표
특허등록일자 2003-09-19
취득구분 등록
기술분류
지식재산유형 국내출원
등록번호(특허) 10-0400219
출원(등록)번호 10-2000-0086790
출원형태
발명자수 2
DOI 값
주요내용
피지티(PZT)막 제조용 전구체 조성물 및 그 보관 용기에 관해 개시되어 있다. 본 발명은 Pb 전구체로서 Pb(C 11 H 19 O 2 ) 2 , Pb(C 11 H 19 O 2 ) 2 (C 8 H 2 0N 3 ) 및 Pb(C 14 H 25 O 4 ) 2 로 이루어진 군중 선택된 적어도 어느 하나, Ti 전구체로서 Ti(C 11 H 19 O 2 ) 2 (C 3 H 7 O) 2 및 Zr 전구체로서 Zr(C 11 H 19 O 2 ) 2 (C 3 H 7 O) 2 이 소정의 용매와 혼합되어 이루어진 것을 특징으로 하는 피지티(PZT)막 제조용 전구체 조성물 및 이를 보관하기 위한 것으로써, 내부 표면이 테프론으로 코팅된 것을 특징으로 하는 전구체 조성물 보관 용기를 제공한다. 이때, 상기 용매는 헵탄(C 7 H 16 )일 수 있으나, 헵탄과 이소프로판올(Isopropanol:C 3 H 8 O)의 혼합물인 것이 바람직하다. 이러한 본 발명을 이용하는 경우, 장기 보관에 따른 조성물의 자체 분해 문제점, 전달 상의 문제점 및 박막 제조 장치의 기화기의 막힘 현상을 제거할 수 있다.
발명자 정보
| 이름 | 소속 |
|---|---|
| 이준기 | 전남대학교 신소재공학부 |