방향족 모이어티를 갖는 염기 수용성 중합체가 존재하고 193 nm의 방사선 파장에 대해서 굴절률 값 n이 1.5 미만인 것을 특징으로 하는 조성물이 193 nm 건식 리소그래피 공정에서 상부 반사방지 코팅으로서 특히 유용하다는 것이 밝혀졌다. 불소 및 설폰산 모이어티를 갖는 에틸렌계 주쇄의 중합체가 특히 유용하다는 것이 밝혀졌다. 상기 조성물은 수성 알칼리 현상액에서 이의 용해도에 의한 사용의 용이성을 제공하는 동시에 193 nm에서 상부 반사를 제어할 수 있다.