본 발명은 유체가 출력 채널로 유입 시 격벽과 격벽 상부 맴브레인이 떨어지는 것을 방지하여 유체의 역방향 흐름을 차단하는 마이크로 체크밸브 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 유체가 공급되는 입력 채널, 상기 입력 채널과 연통된 출력 채널, 상기 입력 채널과 상기 출력 채널의 중앙부에 구비된 격벽, 입력 채널에 결합되는 캐뉼러를 고정시키기 위한 어댑터, 상기 격벽의 상부에 접촉하는 격벽 상부 맴브레인과 상기 출력 채널과 상기 피드포워드 채널을 연통하는 적어도 하나의 관통공을 포함하고, 유체가 출력 채널로 유입되는 경우 상기 격벽 상부 맴브레인 상면에 구비되고 상기 출력 채널과 대응되는 위치에 형성된 적어도 하나의 피드포워드 채널에도 유체가 유입되어 격벽 상부 맴브레인의 변형을 방지하여 유체의 역방향 흐름을 차단하는 것을 특징으로 하는 마이크로 체크밸브 및 그 제조방법을 제공한다.