반도체 설비에 사용될 수 있는 새로운 개념의 동파이프 격리형 냉각 유닛이 개시된다. 본 발명에서 제안된 동 파이프 격리형 냉각 유닛은, 상·하면 및 그 양 측벽이 개구되고, 내부공간이 공기(또는 액체)의 통로 역할을 하도록 설계된 챔버 케이스와; 상기 공기(또는 액체) 통로 내에 냉각핀이 위치하도록 상기 챔버 케이스의 일 측벽 개구영역 내로 삽입되며, 핀 베이스를 사이에 두고 일면에는 냉각핀이 결합되고, 타면에는 동 파이프가 결합된 구조의 제 1 냉각부와; 상기 제 1 냉각부의 상기 동 파이프에 결합되어 상기 챔버 케이스의 일 측벽에 고정된 제 1 커버 플레이트와; 상기 공기(또는 액체) 통로 내에 냉각핀이 위치하도록 상기 챔버 케이스의 타 측벽 개구영역 내로 삽입되며, 핀 베이스를 사이에 두고 일면에는 냉각핀이 결합되고, 타면에는 동 파이프가 결합된 구조의 제 2 냉각부; 및 상기 제 2 냉각부의 상기 동 파이프에 결합되어 상기 챔버 케이스의 타 측벽에 고정된 제 2 커버 플레이트를 포함한다. 상기 구조로 냉각 유닛을 설계하면, 프레온 가스가 흐르는 동 파이프가 챔버 케이스의 외측에 배치되어 있어 공기(또는 액체) 통로에 놓여진 냉각핀과 격리되므로, 챔버 내로 공기나 액체 유입시 장시간을 사용하더라도 동 파이프의 부식이 발생하지 않는다. 따라서, 상대적으로 소비전력이 많이 요구되는 열전소자등의...(이하생략)