본 발명은 서로 대향되는 상부 및 하부 기판; 및 상기 상부 및 하부 기판 사이에 형성된 다수의 열전소자를 포함하며, 상기 열전소자는 P형 및 N형 반도체 특성을 갖는 열전재료를 나노 크기의 지름을 갖는 복합재료 기둥으로 형성하여 이루어진 것을 특징으로 하는 고효율 열전 발전부품 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 고효율 열전 발전부품 및 그 제조방법에 따르면, DOD(Dynamic Oblique Deposition)기법을 이용하여 나노 입자의 P형 반도체와 N형 반도체를 교대로 적층시킨 복합재료의 나노 기둥을 무수히 많이 형성한 열전소자 층을 형성함으로써 기 개발된 열전부품에 비해 획기적으로 개선된 발전효율의 특성을 얻을 수 있는 효과가 있다. 또한, 제작의 단순성으로 인하여 제작비용을 대폭 절감시킬 수 있는 효과가 있으며, 발전, 군사 및 의료분야, 그리고 자동차, 항공기, 선박분야 등과 같은 다양한 분야에 직접적으로 적용이 가능하여 제품의 활용성 및 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.