본 발명은 주사슬의 알킬기가 1~12개 범위인 실라잔계 물질을 이용하여 자기조립단분자막(self-assembled monolayer)을 형성하여 표면개질시킨 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 효과 트랜지스터 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 주사슬의 알킬기가 상이한 다양한 실라잔계 물질을 이용하여 절연층을 표면개질시켜 자기조립단분자막을 형성시킨 유기 전계 효과 트랜지스터를 제조할 수 있다. 또한, 본 발명에서는 절연층의 표면개질시 주사슬의 알킬기가 상이한 실라잔계 물질을 이용하여 2-스텝 자기조립단분자막 처리를 함으로써 tradeoff 관계에 있는 이동도(mobility)와 바이어스 안정성(bias stability)을 모두 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.